我國首次建立奈米級角度國家一級標準物質

　　記者今天了解到，市場監管總局近日新批准二維鉻奈米柵格標準物質、二維硅奈米柵格標準物質、一維硅奈米光柵標準物質3項國家一級標準物質，能夠同時滿足奈米製造産業角度和長度校準需求，為新一代資訊技術、新材料、生物製造、高端裝備等領域的奈米製造提供精準“尺規”。

　　研製高精度的奈米級標準物質，是打造高準確度奈米測量傳遞鏈，提升國産奈米製造産品品質可靠性的關鍵。 二維鉻奈米柵格標準物質突破性地採用分步沉積原子光刻技術，製備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數，角度絕對準確性在0.001量級，相當於把一個蛋糕按扇形均分成三十六萬份。

　　二維鉻奈米柵格的結構面積一般為300μm300μm，在沒有劃傷或破壞的狀況下，每次使用2μm2μm，不重復使用測量區域次數可達20000次以上。

　　可應用於晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等整合電路微納檢測設備校準；

　　也可應用於對超精密位移感測器多種參數的光柵干涉法校準。

　　奈米級角度標準物質的研製成功，實現了奈米測量領域的扁平化計量，避免傳統逐級量值傳遞方式造成的誤差放大，能夠通過線上校準直接將高精度計量數據直接傳遞到企業計量現場，為我國奈米製造産業高品質發展提供有力支撐。

　　(總臺央視記者 李晶晶)